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界读|中芯国际称7nm EUV光刻机问题已解决 研发步入正轨

2019/12/12 22:04:24

欧界报道:

荷兰ASML阿斯麦公司是生产EUV光刻机的厂家,也是除此之外别无他家的一家公司,而EUV光刻机是半导体工艺进入10nm时代后进行光刻所必须具备的一个光刻条件,也是最为复杂的一步。中芯国际于去年与ASML公司购买了一台EUV光刻机,近日中芯国际也表示是与ASML公司之间已经解决了光刻机的问题,不日将会将加速EUV的研发。

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然而又有消息传来说ASML公司停止了对中芯国际的光刻机供应,不过ASML公司称并没有停止供应,而是延期,延期的主要原因是在准备荷兰方面的出口申请文件手续。联系当下西方世界对于中国在此方面的封锁,不禁让人浮想联翩。此前对中兴、华为的断供,不禁让人觉得这次延期会是一个长时间的拉锯战。

日前,中芯国际董事长周子学到达韩国进行访问,韩媒称周子学发布声明说与ASML公司之间存在的供应问题已经解决,还特别强调了中芯国际不会受到影响,其先进工艺的研发与生产一直处在正轨上,与设备供应商和客户之间的供应不存在任何问题。

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据悉,今年一年,ASML公司一共交付了8台EUV光刻机,平均每台的价格达到了1.2亿欧元,换算过来每台高达人民币9.3亿,可谓是世界上最昂贵的设备之一了。而为什么这么贵,其实是有他的道理的。

一套EUV光刻系统,包含了10万个零件、4万个螺栓、3千条电线以及长达2公里的软管。每次运输需要20辆卡车、40个货柜和3架次货机才能运输完毕,其重量高达180吨,每部的造价就超过了一亿美元。光靠体积就已经是个庞然大物可,更别说里面还包含如此精密复杂的工艺。

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在中芯国际表明了解决了与ASML公司的供货问题后,如果情况属实,将会是国产芯片跨越10nm进步到7nm的一大步,着实令人可喜。不过如此重要的关键技术还掌握在他人手中,实在是难以放心。希望国内各方力量在此方面务必加油,早日做出掌握在自己手中的关键技术。各位读者,你们觉得呢?

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